進行IV和CV測量，無需匯集或集成多種儀器，例如電源、電壓表、電流表、LCR表、開關(guān)矩陣等。參數(shù)分析儀的主要測量元器件是電源/測量單元（SMU )。SMU是一種將電壓/電流源功能和電壓/電流表功能結(jié)合于單一模塊中的測量模塊。由于該參數(shù)分析儀將電源和測量電路緊密集成，所以相比使用多種獨立儀器進行相同測量來說，可以提供更高的精度、分辨率以及更小的測量誤差。